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CZ-Method
TSSG-Method
μ
-Pd Method
Czochralski method
성장개요
RF-Coil에 의해 형성되는 전자기장에 의해 원료를 용융 시키는 방법으로 단결정 성장 공정에서 Seed를 회전시켜
단결정 Ingot의 형상을 균일하게 제어 가능
고품위 단결정 성장 핵심기술
성장로 내 온도구배 제어 기술
용융물, 불순물 농도 제어 기술
회전 / 인상속도 제어 기술