사업소개

기술소개



Top seeded solution growth method

성장개요

Czochralski법과 마찬가지로 RF-coil을 이용하여 도가니 내 다결정 Si 및 기타 금속첨가제를 용융시키고 Seed Rotation 및 ACRT (Accelerated Crucible Rotation Technique)법을 적용하여 결정을 성장

고품위 단결정 성장 핵심기술

  • 흑연도가니 용해속도 제어 기술
  • 성장표면 탄소 과포화도 제어 기술
  • 성장로 내 분위기 및 대류특성 제어 기술
  • Meniscus에 따른 성장특성 제어 기술