사업소개

보유설비



성장장비

유도가열식 단결정 성장로 (상압)

구분 사양
가열방식 고주파유도가열
최대온도 2,000℃
Chamber Main, Top
Vacuum 미적용
히터용량 5kW
회전속도 0.1~30rpm
인상속도 0.01~10mm/h
Load cell 0~10kg / 0~50kg

유도가열식 단결정 성장로 (진공분위기)

구분 사양
가열방식 고주파유도가열
최대온도 2,100℃
Chamber Double jacket
Vacuum Rotary pump
히터용량 5kW
회전속도 0.01~30rpm
인상속도 0.01~10mm/h
Load cell 0~5kg / 0~50kg